首要由低压紫外灯，光波过滤器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、样品光电传感器、采样光电传感器、输出显现、电路部件构成。
臭氧检测仪选用紫外线吸收法的原理，用安稳的紫外灯光源发生紫外线，用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许波长253.7nm经过。经过样品光电传感器，再经过臭氧吸收池后，抵达采样光电传感器。经过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，再经过数学模型的核算，就能得出臭氧浓度巨细。
首要依据臭氧对254nm波长的紫外光存在*大吸收，并由兰伯特-比尔规律光强与浓度的对数值成正比原理规划而成，选用了经典的双光路体系，精度达0.1mg/L，丈量规模由0.1~200mg/L。适用于高浓度的臭氧气体丈量。用于臭氧发生器出口的浓度丈量，可接连在线检测臭氧发生器出口管道中臭氧浓度。大多数都用在接连检测各种工业环境下的臭氧气体，也可用于检测运转中的管道、容器等环境的臭氧气体。
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