主要由低压紫外灯，光波过滤器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、样品光电传感器、采样光电传感器、翰出显现、电路部件构成。
可分为固定式臭氧检测仪(又名臭氧变送器或臭氧探头)、手持式臭氧检测仪、壁挂式臭氧检测仪、臭氧分析仪、臭氧报警器。
臭氧检测仪的作业原理时通过空气样品以稳定的流速进入仪器的气路体系时，样品空气替换地或当即进入吸收池或通过臭氧涤除器再进入吸收池，此刻臭氧对254nm波长的紫外光有特征吸收。当零空气样品通过吸收池时被光度检测器测定的光强度为10；那么含臭氧的空气样品通过吸收池时，被光度检测器测定的光强度为I。如此每通过一个循环周期，仪器的数据处理体系依据朗伯-比尔规律求出臭的浓度。
臭氧检测仪的检测原理有半导体原理(英国E2V)、电化学检测原理(安帕尔科技)、紫外光法原理等。
臭氧检测仪主要是用于臭氧制备车间(臭氧发生器、臭氧厂房等)、化工、石油、造纸、纺织、制药和香精香料工业、水处理、食物医药灭菌车间等场合。